傅裏葉(yè)變換(huàn)紅外光譜(pǔ)分析(xī)儀，MG6030

MG 6030傅裏葉變換紅外(wài)光譜(pǔ)分(fēn)析儀(yí)是以(yǐ)傅裏葉變換紅(hóng)外(wài)為基礎的多(duō)氣體光(guāng)譜分析(xī)儀(yí)
。其(qí)具(jù)有ppb到ppm靈敏度
。廣泛(fàn)用於(yú)半導體(tǐ)生產(chǎn)工(gōng)藝控(kòng)製(zhì)和(hé)監控，氣體純(chún)度(dù)和組(zǔ)成分(fēn)析，環(huán)境有毒有害(hài)氣體(tǐ)監視(shì)和工業(yè)尾(wěi)氣(qì)監(jiān)視
。MG 6030傅裏(lǐ)葉變(biàn)換紅外光譜分析儀能(néng)分析(xī)含有(yǒu)高達40%水的(dí)氣流(liú)，能同(tóng)時(shí)分析和顯示(shì)多達(dá)30種(zhǒng)氣體
。分析儀(yí)儲(chǔ)存了(liǎo)校(xiào)準光譜，故(gù)省(shěng)出了氣(qì)體(tǐ)筒的成本(běn)
。另(lìng)外(wài)，操作(zuò)者(zhě)也(yě)會(huì)發現MG 6030傅(fù)裏葉變(biàn)換紅外(wài)光(guāng)譜分析儀(yí)操(cāo)作簡(jiǎn)便，易於維(wéi)護
。

MG 6030傅(fù)裏(lǐ)葉變換紅(hóng)外(wài)光(guāng)譜(pǔ)分析儀由2102傅裏葉變換(huàn)紅(hóng)外製(zhì)成(chéng)分光(guāng)計(jì)，高光通量取(qǔ)樣單(dān)元，專業分析(xī)軟(ruǎn)件(jiàn)及(jí)獨(dú)立的定(dìng)量光(guāng)譜庫組成(chéng)
。MG 6030收(shōu)集高(gāo)分辨(biàn)率(shuài)的紅(hóng)外光(guāng)譜(pǔ)與定(dìng)量光譜庫分(fēn)析(xī)，提供絕(jué)大多數(shù)氣(qì)體及(jí)水蒸氣的(dí)高(gāo)精度(dù)，高(gāo)靈敏度測(cè)量(liáng)
。

特點和(hé)優點：

●10ppb~100%靈(líng)敏(mǐn)度對(duì)於絕大多數(shù)有(yǒu)毒(dú)有(yǒu)害氣(qì)體

●易於移(yí)動(dòng)從(cóng)一(yī)處(chǔ)移(yí)到(dào)另一處(chǔ)，設置僅需幾分鐘

●同時(shí)分析和(hé)顯示多達(dá)30種(zhǒng)氣體(tǐ)

●分(fēn)析(xī)儀儲存了(liǎo)校準(zhǔn)光(guāng)譜，省去(qù)了氣(qì)體(tǐ)筒的(dí)成(chéng)本

●取樣氣(qì)體在進入(rù)分析室(shì)前加熱並(bìng)維(wéi)持恒定(dìng)溫(wēn)度(dù)

●綫性(xìng)檢測(cè)器，確(què)保(bǎo)所有分析儀維持(chí)在(zài)相同(tóng)的校(xiào)準條件(jiàn)下(xià)

●頻率(shuài)和分(fēn)辨(biàn)率(shuài)診(zhěn)斷(duàn)，確(què)保校準恒(héng)定

●提供(gōng)自(zì)動(dòng)溫度(dù)和壓力補(bǔ)償以(yǐ)確保分析精度

●用(yòng)戶(hù)操作簡(jiǎn)便(biàn)軟件(jiàn)界(jiè)麵(miàn)，稍加(jiā)培訓即(jí)可操作

分(fēn)析儀主機(jī)

測試技術                         傅裏(lǐ)葉變(biàn)換紅(hóng)外光譜(pǔ)

可測(cè)試氣體或(huò)水(shuǐ)蒸(zhēng)氣        絕(jué)大多(duō)數分子除(chú)了氮(dàn)氣，氧氣(qì)和(hé)氫氣

範(fàn)圍                                濃(nóng)度(dù)從10ppb到100%

傅裏葉(yè)變換紅(hóng)外(wài)               2102製(zhì)成(chéng)傅裏葉(yè)變換(huàn)紅(hóng)外

光譜分(fēn)辨(biàn)率                      0.5 - 128cm-1

掃描(miáo)速度                         每秒(miǎo)5次(cì)在0.5cm-1

掃(sǎo)描(miáo)時間                         1 – 300秒(miǎo)

紅外(wài)源                            碳(tàn)化矽(guī)在1200℃

參(cān)考激(jī)光                         氦氖（15798.2cm-1）

檢測器                            液(yè)氮冷(lěng)卻(què)MCT或(huò)半導體(tǐ)製冷冷卻MCT（汞(gǒng)-鎘(gé)-碲(dì)化物）

清潔(Purge)壓力             最(zuì)大20PSI(1.5bar)

光(guāng)譜室(shì)Purge流量(liáng)            0.2升/分(fēn)，幹(gān)燥氮氣或露點在(zài)-70℃以(yǐ)下無二(èr)氧化(huà)碳的(dí)幹(gān)燥空氣(qì)

光(guāng)學係統(tǒng)Purge流(liú)量         0.2升/分，幹(gān)燥氮氣(qì)或(huò)露點(diǎn)在(zài)-70℃以(yǐ)下(xià)無二(èr)氧(yǎng)化(huà)碳(tàn)的幹燥(zào)空(kōng)氣(qì)

壓(yā)力(lì)傳感(gǎn)器(qì)                     MKS Baratron 電(diàn)容(róng)式薄膜壓力傳感(gǎn)器(qì)

Purge連接                      Swagelok 快(kuài)速接(jiē)頭(tóu)

電(diàn)腦要求                        台式(shì)或(huò)筆(bǐ)記本電腦(nǎo)帶(dài)Intel奔騰 處理(lǐ)器,微軟Wingdows； XP操(cāo)作係統，1024 X 768顯示

通訊(xùn)口(kǒu)                           RJ-45交叉(chā)以太網(wǎng)

輸出選件                        XML，模(mó)擬，AK，其他(tā)

尺寸                              445mm寬(kuān) *318mm高(gāo) * 648mm深

安(ān)裝                              可(kě)安裝於19英寸標準(zhǔn)機櫃

電源                              110V或220V，50/60hz，3A

重量                              50公斤

分(fēn)析(xī)儀采樣(yàng)參數

采樣溫(wēn)度(dù)                 室溫(wēn)至(zhì)200℃（取(qǔ)決(jué)於(yú)校準(zhǔn)溫度）

采樣(yàng)速流                 0.2 – 10升/分(fēn)

采(cǎi)樣壓力                 0.01 – 4大(dà)氣壓（取決於(yú)校(xiào)準(zhǔn)壓(yā)力(lì)）

結構                        鍍鎳鋁(lǚ)，或316不(bù)鏽鋼焊接選件(jiàn)

接(jiē)頭(tóu)                        Swagelok或(huò)VCR

采(cǎi)樣壓(yā)力(lì)                 1個(gè)大氣壓(yā)（取決於校(xiào)準壓力(lì)）

管道(dào)                        加(jiā)熱(rè)不(bù)鏽鋼

窗口(kǒu)                        KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可(kě)選(xuǎn))

“O"型密封圈        Viton(其他可選)

檢(jiǎn)測(cè)極限

5.11米氣室，MCT檢(jiǎn)測器在0.5cm-1分辨率下(xià)，下列典型氣體檢(jiǎn)測數據(jù)為(wéi)：