通(tōng)道：3進(jìn)1出  /4進(jìn)1出(chū)  /6進(jìn)1出

每(měi)通道(dào)流量(liáng)：0~500ml/min（其他0-200ml/min請(qǐng)聯(lián)係）

能否(fǒu)與第三方軟(ruǎn)件(jiàn)通訊(xùn)：能

稀釋比：1-1000

適用(yòng)氣體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，

DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(děng)(其(qí)他氣體，請(qǐng)咨(zī)詢(xún))

通(tōng)道：3進(jìn)1出

每(měi)通道(dào)流(liú)量：0~5000ml/min（其(qí)他(tā)0-200ml/min請(qǐng)聯係）

能否與第(dì)三方(fāng)軟件通訊：能

稀釋比(bǐ)：1-1000

適(shì)用氣體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，

DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(děng)(其他氣體，請咨詢(xún))

通(tōng)道：4進(jìn)1出(chū)/每通道流(liú)量：0~5000ml/min

能(néng)否與第三方軟(ruǎn)件(jiàn)通訊(xùn)：能

稀釋(shì)比：1-1000

適用(yòng)氣(qì)體：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等(děng)等(其(qí)他(tā)氣(qì)體(tǐ)，請咨詢(xún))

通(tōng)道(dào)：6進(jìn)1出/每(měi)通(tōng)道(dào)流量(liáng)：0~5000ml/min

能否與(yǔ)第三(sān)方(fāng)軟(ruǎn)件(jiàn)通訊(xùn)：能(néng)

稀釋比(bǐ)：1-1000

適(shì)用(yòng)氣體(tǐ)：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他(tā)氣(qì)體(tǐ)，請咨(zī)詢)

通(tōng)道：3進1出(chū)/每通道流量：0~15000ml/min

能否與第三(sān)方軟件(jiàn)通(tōng)訊(xùn)：能(néng)

稀(xī)釋比：1-1000

適用氣體：

適用(yòng)氣體(tǐ)：N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He，DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他(tā)氣體，請咨詢(xún))