氣體傳(chuán)感器的(dí)工作原理與(yǔ)新(xīn)技術發展
　　高(gāo)分(fēn)子氣體(tǐ)傳感(gǎn)器(qì)，對特定(dìng)氣(qì)體分(fēn)子具有靈敏度(dù)高(gāo)，選(xuǎn)擇(zé)性(xìng)好，且(qiě)結構(gòu)簡單(dān)，可在(zài)常溫(wēn)下使用(yòng)，補(bǔ)充其(qí)它(tā)氣體(tǐ)傳感(gǎn)器(qì)的(dí)不足，超(chāo)聲波(bō)氣(qì)體傳(chuán)感器(qì)發展前景良(liáng)好(hǎo)。
　　SAW氣(qì)體傳感(gǎn)器(qì)製(zhì)作在壓(yā)電(diàn)材料的(dí)襯(chèn)底上(shàng)，一(yī)端的(dí)表(biǎo)麵(miàn)為輸(shū)入(rù)傳感(gǎn)器(qì)，另一端為(wéi)輸出(chū)傳(chuán)感器。兩(liǎng)者(zhě)之間的(dí)區(qū)域澱積了能(néng)吸附VOC的聚合物膜。被(bèi)吸(xī)附(fù)的分(fēn)子增加了傳感器(qì)的質量(liáng)，使(shǐ)得聲波在材料(liào)表麵(miàn)上的傳(chuán)播(bō)速度(dù)或頻(pín)率發生(shēng)變化，通(tōng)過測(cè)量(liáng)聲(shēng)波(bō)的速度或(huò)頻率來(lái)測量(liáng)氣(qì)體(tǐ)濃度，主(zhǔ)要(yào)氣敏(mǐn)材料(liào)有(yǒu)聚異丁(dīng)烯，氟聚(jù)多元醇(chún)等，用(yòng)來測(cè)量苯乙烯和甲苯(běn)等有(yǒu)機蒸(zhēng)汽。其優勢(shì)在於(yú)選(xuǎn)擇性(xìng)高，靈(líng)敏(mǐn)度高，在很寬的(dí)溫(wēn)度(dù)範(fàn)圍內(nèi)穩(wěn)定，對濕度響(xiǎng)應低(dī)和良好的(dí)可重(zhòng)復性(xìng)。SAW傳(chuán)感器輸出為準(zhǔn)數字信(xìn)號，因(yīn)此可(kě)簡便地與(yǔ)微處(chǔ)理器接口。此外，SAW傳感(gǎn)器(qì)采(cǎi)用半(bàn)導體(tǐ)平(píng)麵工藝(yì)，易於將敏感(gǎn)器與(yǔ)相配(pèi)的電子器件結(jié)合在一(yī)起，實現(xiàn)微型化，集成化(huà)，從而降低測量成本。W石英振(zhèn)子(zǐ)式(shì)氣體傳感(gǎn)器(qì)
　　石(shí)英振子微秤（QCM）由直徑為數微米的石(shí)英振(zhèn)動盤(pán)和(hé)製作在(zài)盤(pán)兩邊的(dí)電極(jí)構(gòu)成。當(dāng)振蕩信號加在(zài)器件上時，器件(jiàn)會在(zài)它的特(tè)征(zhēng)頻(pín)率(shuài)（1～30MHz）發生共振。振動(dòng)盤上澱積了(liǎo)有(yǒu)機(jī)聚合物(wù)，聚(jù)合物(wù)吸附氣體後，使器件質量(liáng)增(zēng)加，從而引起石(shí)英(yīng)振子的(dí)共(gòng)振頻率降(jiàng)低(dī)，通過(guò)測定共振頻(pín)率的變(biàn)化(huà)來(lái)識(shí)別(bié)氣體。